Par rapport à la pulvérisation traditionnelle à deux fluides, la pulvérisation par ultrasons présente les avantages d'une uniformité élevée du revêtement, d'une utilisation élevée des matières premières, d'une précision de contrôle de l'épaisseur du revêtement élevée, d'une épaisseur de revêtement plus mince, de moins d'éclaboussures, de l'absence de colmatage des buses et de faibles coûts de maintenance. Par rapport à l'évaporation sous vide, au CVD et à d'autres procédés de revêtement, la pulvérisation par ultrasons est un procédé de revêtement en couche mince plus économique, en particulier pour la préparation de films de plus grande surface. Le coût de l'équipement de pulvérisation par ultrasons est bien inférieur à celui de l'équipement de revêtement sous vide. Présentons brièvement ces principaux avantages de la pulvérisation par ultrasons.
Uniformité élevée du revêtement
L'uniformité de la distribution des particules liquides après avoir été atomisées par la buse à ultrasons est nettement supérieure à celle de la buse à deux fluides, également connue sous le nom de pistolet de pulvérisation à air, de sorte que l'uniformité du revêtement après la pulvérisation de la buse à ultrasons est également considérablement améliorée. En général, l'uniformité du revêtement par pulvérisation ultrasonique peut atteindre plus de 95%.
2. Utilisation élevée des matières premières et moins d'éclaboussures
Parce que la pulvérisation par ultrasons est une atomisation de liquide par vibration ultrasonique, le revêtement n'est pas atomisé pendant le processus d'atomisation, c'est-à-dire que le processus d'atomisation ne nécessite pas de pression, et seule une très faible pression de gaz vecteur est appliquée après l'atomisation pour transporter le brouillard liquide. Il réduit considérablement le rebond et les éclaboussures de liquide causés par l'air haute pression pulvérisé par deux fluides, améliorant ainsi considérablement le taux d'utilisation du revêtement. Le taux d'utilisation des matières premières de la pulvérisation par ultrasons est plus de 4 fois supérieur à celui de la pulvérisation d'air ordinaire, et le taux d'utilisation peut atteindre plus de 90%.
3. Précision de contrôle d'épaisseur de revêtement élevée
Le principal facteur qui affecte la précision de l'épaisseur du revêtement est le débit de pulvérisation du revêtement, c'est-à-dire la quantité de matière transportée sur le substrat par unité de temps. La tête de pulvérisation à ultrasons n'a aucune pression sur le liquide, elle peut donc contrôler complètement le débit de liquide du revêtement de pulvérisation atomisé par une pompe doseuse de haute précision, permettant ainsi un contrôle du débit de pulvérisation de haute précision. Comme une pompe à seringue de haute précision, sa précision de contrôle de débit peut atteindre le niveau de picolitres par seconde, et la conception à micro-canaux de la buse à ultrasons peut également atteindre la précision de contrôle globale de nanolitres par seconde.
4. L'épaisseur du revêtement mince peut atteindre des dizaines de nanomètres
Étant donné que le volume de pulvérisation de la tête de pulvérisation à ultrasons peut atteindre un débit stable très faible (0,001 ml / min), il peut atteindre une très petite quantité de téléchargement sur le substrat, obtenant ainsi un film sec très fin. Pour certains nanomatériaux, l'épaisseur du film sec peut être aussi faible que des dizaines de nanomètres. Il peut être utilisé pour préparer des films minces de verre tels qu'un film conducteur transparent, un film antireflet antireflet, un film de protection thermique et un film hydrophobe.
5. Aucun colmatage des buses et faible coût de maintenance
Étant donné que la buse à ultrasons est un liquide atomisé par oscillation ultrasonique et que les particules atomisées sont déterminées par la fréquence d'oscillation ultrasonore, elle est différente de la buse à deux fluides. Le diamètre de la buse n'a pas besoin d'être très petit pour obtenir de fines particules atomisées, ce qui réduit le risque de colmatage de la buse.
